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碳化硅工藝設(shè)計院

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1楊霏;周瑞;李亮;馮震;李效白;潘宏菽;蔡樹軍;;碳化硅器件制備中干法刻蝕工藝的研究[A。10李響;于偉華;牟進(jìn)超;孫厚軍;呂昕;;毫米波倍頻器的設(shè)計與仿真[A];2009年全國微波毫。

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