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多晶硅硬度

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多晶硅及多晶硅生產(chǎn)工藝-多晶硅多晶硅;polycrystallinesilicon性質:灰色金屬光澤。密度2.32~2.34。熔點1410℃。沸點2355℃。溶于氫。

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摘要:定向凝固多晶硅在微納尺度下的力學性能研究,采用納米壓痕測試系統(tǒng)測試了定向凝固多晶硅沿晶體生長方向橫/縱截面的硬度與彈性模量,分析了其受組織各向異性影響的。

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單晶硅:莫氏硬度7;多晶硅:莫氏硬度7;碳化硅:莫氏硬度9.5。

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