一種全自動單晶硅棒切方磨削復(fù)合加工一體設(shè)備的制作方法摘要本實用新型屬于單晶硅棒加工設(shè)備領(lǐng)域，旨在提供一種全自動單晶硅棒切方磨削復(fù)合加工一體設(shè)備；其中包括底架、切方動力頭驅(qū)動組件、磨削動力頭驅(qū)動組件、外罩。

脆性材料磨削的方法和設(shè)備的制作方法使得脆性材料即使采用普通的磨削設(shè)備也能在塑性加工模式區(qū)內(nèi)進行令人滿意的磨削加工成為現(xiàn)實。為達到以上目的，該項發(fā)明在脆性材料的磨削加工中采用了一種恒壓下的精密磨。

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晶盛機電：關(guān)于年產(chǎn)100臺單晶硅棒切磨設(shè)備項目可行性分析_晶盛機電。外圓磨削和平面磨削這三道加工工序整合到一臺設(shè)備中完成，研發(fā)性能的晶棒一體加工設(shè)備，同時，研發(fā)新型的金剛石多線切片機，以淘汰傳統(tǒng)污染嚴重、效率低下的砂漿切。

硅片的磨削/電解復(fù)合多線切割加工方法名稱：硅片的磨削/電解復(fù)合多線切割加工方法技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種利用磨削/電解復(fù)合加工技術(shù)對硅片進行切割的方法，具體地說是一種磨削電解復(fù)合多線切割硅片的。

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